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在半導體制造設備中,波紋管(Bellows) 是一種用于精密密封、柔性傳動和位移補償?shù)年P鍵金屬彈性元件。國內外很多企業(yè)使用,如日本佳能,ULVAC,AKT等。此類設備對真空密封性要求嚴格,使用壽命達100-500萬次。